演講主題:大面積鈣鈦礦薄膜特性、品質的光激發螢光分析
演講講師:陳俊霖 組長 / 利泓科技
KYO/編輯:黃天晧
利泓科技Rightek的陳俊霖 Jarry Chen先生 將鈣鈦礦檢測用於研發的幾項利器,在論壇中清楚展示出來,利泓的專業不只是代理而以已,可以結合幾項國外的強大的檢測設備來形成一個鈣鈦礦相關研究開發的完整的解決方案!
其中Edinburgh Instrument的瞬態吸收光譜Transient absorption (TAs)中,材料基態與激發態對於光的吸收圖譜不同,此特性可利於推測材料的哪些成份真正參與光電轉換。 TAs OD Decay圖譜則提供電子電洞傳輸層或載子重合的資訊。搭配光致發光光譜儀TR-PL的PL Decay time資訊,反應出材料的效率。對於鈣鈦礦吸光層與傳輸層材料的改良有極大的幫助,給予更多參數控制的可能性與驗證方法。
微觀上,使用最先進Molecular Vista PiFM原子力光誘導顯微技術,突破過往顯維FTIR只能量測到10um左右的限制,PiFM可同時獲得材料表面形貌與IR光譜資訊,空間解析度最小約5nm,為鈣鈦礦表面形貌研究、均勻度量測的一大利器。重點是,大面積樣品量測上,為兼具良好的影像解析度,過往一個樣品要耗費相當久的時間進行單點Mapping拼接或佈點量測,無法達到in-line的分析,導致製程中缺少了即時監測的工具。
而Photon ETC高光譜螢光光譜儀克服了此問題,獨家的專利設計以高速量測影像與圖譜資訊取得三維Data cube。搭配調整FOV與Mapping拼接法, 達到大面積樣品元件量測需求,單一FOV的量測範圍即可達到約A4紙張的尺寸。未來可應用在in-line的生產監控。
除了大面積的PL, EL圖譜,量測結果也能以Quasi-fermi level splitting mapping或Current Transport Efficiency mapping方式呈現,元件的量測不再只是一個數字,而是將元件的效率視覺化,協助開發者辨識出效率不彰的區域,提供更多改善的方向與空間。
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